2021年，恒运昌向头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换。这是国产射频电源第一次在头部晶圆厂的刻蚀设备上替代了海外产品。
那一年，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率，尚不足5%。但2024 年这个数字被提升至近12%。
2026年1月，恒运昌在科创板挂牌上市，成为资本市场眼里“半导体核心零部件国产替代”最确定的标的之一。
成为一个“冒险家”，从边缘赛道闯进核心战场
2018年以前，国内半导体产线上几乎没有一颗国产射频电源。
半导体产线追求的是极致稳定，一片12英寸晶圆价值数万美元，工艺良率每波动一个百分点，损失以数百万计。射频电源控制着等离子体的每一次放电，直接影响晶圆加工的成败。进口电源价格昂贵，但经过了产线数十年的持续验证。对晶圆厂和设备商而言，更换一颗未经量产考验的国产电源，意味着承担不可预知的工艺风险。
这不是偏见，而是产业规律。等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，设备一旦定型通过验证，晶圆厂就不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统，以此满足半导体行业的“精确复制”管理模式。一个新进入者想要打破这种格局，必须在性能、一致性和长期稳定性上证明自己与海外巨头站在同一水平线上。
2013年恒运昌成立时，国内射频电源市场几乎是一片空白。创始团队大多从美国半导体公司出来，带着技术视野和对壁垒的清醒认知，却没有客户愿意把“心脏”交给一个没有量产记录的中国公司。
最初几年，恒运昌只能从非半导体行业切入——太阳能、LED、通用工业镀膜。“门槛不高，客户没有排斥，功率达标就能用。”这是当时唯一能走的路。
2018年，国际局势发生变化，拓荆科技意识到被断供的可能，开始在供应链中寻找国产替代。在一次半导体展会上，拓荆科技找到了恒运昌。“没有客户给机会，就无法进入这个行业。拓荆是第一个站出来的。”双方由此展开合作。恒运昌则用技术指标的逐一达标和验证的依次通过，回应了这份信任。
恒运昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品，从28纳米到7纳米以下制程，一步步从“可用”走向“好用”。目前恒运昌已实现对拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等国内头部半导体设备商的批量供货。
一个客户带来的连锁反应，改写了恒运昌的轨迹，也打开了国产射频电源的产业通道，但拿到入场券只是开始。
多年验证，一场关于“可信赖”的行业长跑
但批量交付不是终点，而是另一道分水岭。
要证明自己能稳定、持续地做出“好用”的产品，考验的不再是某一次技术突破，而是质量管理体系、生产流程控制、客户反馈闭环的系统性能力。
截至2025年底，恒运昌研发人员占员工总数近40%，在制造业中，这个比例并不多见，因为这意味着人力成本的增加——研发人员的薪资、实验设备的投入、技术验证的周期，每一项都是真金白银的消耗。但恒运昌却有自己的打算：“国外公司研发占比可能只有10%，但他们有40年的积累。从历史上看，公司多年来一直保持高研发投入；研发投入既是支撑公司当期经营的重要基础，也是保障公司未来长期竞争力和可持续发展能力的关键因素。”在追赶者的位置上，这不是一个可选项，而是一个必选项——用更大的研发密度，换缩短差距的时间。
而在技术层面，恒运昌从一开始就选择了最难的路：正向研发。从测量、控制、架构三大基石技术，到匹配器调谐算法、频率与相位同步锁定、电弧检测控制等八大产品化支撑技术，恒运昌用十余年时间搭建了一套从底层原理到产品落地的完整技术体系。这套体系的含金量，在2021年得到了关键验证——恒运昌向头部晶圆厂交付了国内首颗刻蚀设备用射频电源，实现了原位替换。
但真正的考验才刚刚开始。半导体设备一旦通过晶圆厂验证，便不再轻易更换供应商。这也意味着恒运昌不仅要做出“能用”的产品，还要证明自己能稳定地、持续地做出“好用”的产品。这考验的不是某一次技术突破，而是整个质量管理体系、生产流程、客户反馈闭环的系统性能力。
2025年，公司实现营业收入5.29亿元。截至公司2025年年度报告披露日，在手订单共约1.57亿元。市场的投票，正在从“零的突破”走向“规模的兑现”。
继续往前跑，然后翻过一座又一座山
2024年，中国大陆半导体领域射频电源系统国产化率近12%，全球市场仍由MKS和AE等海外厂商垄断。
追赶的方向，已经明确。恒运昌已启动新一代Cedar系列射频电源系统的开发，瞄准面向更先进制程的产品，将射频电源与匹配器整合为一体化平台。国际化也被写入核心战略，恒运昌从深耕国内市场起步，逐步拓展国际市场，力争成为国际一流半导体设备核心零部件全球供应商。
但恒运昌更长远的步伐，或许不只在射频电源一个赛道上。整个中国半导体产业链依然任重道远。恒运昌可以解决一颗“心脏”的问题，但整个“身体”的健康，需要整个生态的共同努力。
对于十年后的恒运昌，恒运昌方面给出了三个关键词：全球化、平台化、生态基石。
前两个是战略层面的事——走向世界、做大产品版图。第三个，则更像是一种历史定位的期许：“成为半导体产业生态中值得信赖的‘基石型’企业。无论产业周期如何起伏，恒运昌都能以稳定的技术研发和卓越的产品品质，支撑起中国乃至全球半导体产业的繁荣。”
这个定义的重量在于：它不是关于市值，不是关于份额，而是关于“可信赖”。在半导体这个容错率接近零的行业，“可信赖”三个字，是所有后来者最难以跨越的鸿沟，也是恒运昌十三年跋涉最想抵达的彼岸。
【凤凰观察手记】
从深圳宝安到上海科创板，恒运昌的故事，是中国半导体产业链底层创新者的一个典型样本。
在巨头林立的全球半导体零部件版图中，这家公司没有选择在设备整机层面与巨头正面竞争，而是扎根射频电源这一关键零部件，用十余年时间在半导体赛道完成从零到先进制程的跨越。当国产替代从政策口号变成产业刚需，这个看似“笨拙”的长期主义选择，开始释放巨大的商业价值。
半导体国产替代从来不是一条坦途。即便是在射频电源这样相对“细分”的赛道，追赶国外几十年的工艺经验、与客户共同摸索技术方向、承受高强度的研发投入——每一步都充满不确定性。恒运昌用走过的路告诉我们，国产替代是一场持久战，而非速决战。
风口来了，但前提是你得在风口到来之前，就已经在赛道上跑了足够久。在半导体自主可控上升为国家战略的时代背景下，恒运昌的成长路径，提供了一个值得观察的中国样本：在核心技术领域，真正的城墙从来不是某个单点突破，而是十年如一日对行业痛点的深度回应与系统构建。
文/凤凰网深圳 黎诗
图/受访方供图
